1
Первый образец российского литографа для производства чипов появится в ближайшие 2 года. Промышленный вариант — в течение 5 лет.
Литография в микро- и наноэлектронике — это создание рельефного рисунка в специальном чувствительном слое на кремниевой подложке, повторяющего геометрию микросхемы.
Разрешение будет постепенно уменьшаться по мере настройки работы нашего нового литографа.