1
Ученые, работающие над созданием первого российского литографа, необходимого для производства современных чипов, находятся на стадии аванпроекта, который предвосхищает появление альфа-машины - демонстрационного образца.
Об этом ТАСС сообщил научный руководитель Национального центра физики и математики (НЦФМ, Нижегородская область) академик РАН Александр Сергеев.
Первый российский литограф с длиной волны 350 нанометров был создан в весной 2025 года специалистами «Зеленоградского нанотехнологического центра» совместно с белорусской компанией «Планар» по заказу Минпромторга России.