1
Министерство промышленности и торговли Российской Федерации объявило о выделении почти 7 млрд рублей на создание пяти установок, необходимых для производства микроэлектроники. Эти установки станут аналогом американских, европейских и японских моделей.
Как сообщает интернет-издание CNews, Минпромторг разместил пять тендеров на портале госзакупок 25 ноября 2025 года. Общая сумма выделенных средств составляет более 6,8 млрд рублей.
Наибольшую сумму — 1,99 млрд рублей — ведомство выделило на разработку кластерного комплекса для нанесения слоев алюминиевой металлизации методом вакуумного напыления. Эта установка должна работать с пластинами диаметром 200 мм и соответствовать технологии 180-90 нанометров (нм). Аналогами такого оборудования являются американская Applied Materials 0230-70040 Endura HP PVD и швейцарская Evatec Clusterline 300. Работы должны быть завершены до 30 сентября 2030 года.
Еще 1,61 млрд рублей выделено на создание автоматизированной установки для измерения рассовмещения топологических слоев на кремниевых пластинах диаметром 150 и 200 мм. Аналогом этой установки является американская ARCHER 10 XT от KLA TENCOR. Завершение работ планируется к 31 июля 2029 года.
Министерство также выделило средства на разработку двух установок для печей и отжига. Например, на создание вертикальных диффузионных печей для высокотемпературной обработки кремниевых пластин до 200 мм с обеспечением базовых технологических процессов изделий с нормами 180-90 нм выделено 1,52 млрд рублей. Эти печи предназначены для группового атмосферного влажного окисления в парах воды, отжига, химического осаждения диэлектрических и поликремниевых слоев и других операций. Аналогом данной установки является японская TELALPHA. Работы должны быть выполнены до 31 октября 2029 года.
http://vestnik-glonass.ru/news/tech/sem-milliardov-v-stroitelstvo-pyati-ustanovok-dlya-proizvodstva-chipov/