1
СОЗДАНА ПОЛНАЯ ЦЕПОЧКА ПРОИЗВОДСТВА ОСОБО ЧИСТОГО ГЕКСАФТОРИДА ВОЛЬФРАМА
Специалисты НПО «ЛУЧ» в сотрудничестве с российскими учеными и отечественными предприятиями создали полную цепочку оборудования для производства особо чистого гексафторида вольфрама.
Уже проектируется первая в России площадка, где это соединение будут выпускать в промышленных объемах — с полным циклом: от реакторов до аналитического оборудования. В НПО «ЛУЧ» сделали опытные установки для двух ключевых этапов очистки — сорбционной и ректификационной. Кроме того, завершены методики контроля качества: научились точно измерять, сколько в материале примесей, в том числе газовых и металлических.
Особо чистый гексафторид вольфрама используется в микроэлектронике, например, при производстве полупроводников для осаждения металлического слоя вольфрама из газовой фазы. Этот слой отличается высокой химической и термостабильностью, низким сопротивлением, и служит защитой для плат и схем. Также гексафторид вольфрама применяется для получения покрытий и изделий из высокочистого вольфрама методами газофазной металлургии (водородное восстановление, химические транспортные реакции).
Источник:
https://t.me/vremyavperedrus/6221