1
МОДЕРНИЗИРОВАН ЭЛЕКТРОННЫЙ НАНОЛИТОГРАФ ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА РЕНТГЕНОВСКОЙ ОПТИКИ
Специалисты Физического института имени Лебедева создали на основе переставшего производиться после распада Советского Союза электронного нанолитографа установку для получения отечественных компонентов рентгеновской и дифракционной оптики.
«В качестве базы для установки мы взяли электронный нанолитограф ZBA, разработанный в 1980–1990 годах консорциумом стран Совета экономической взаимопомощи (СЭВ). В СССР, странах СЭВ и на постсоветском пространстве работали несколько сотен таких установок и значительная часть всей позднесоветской и постсоветской электроники изготавливалась с использованием этих машин, которые после распада Советского Союза в силу политических причин перестали производиться. Помимо реинжиниринга отдельных узлов установки, осуществлена их переработка с учетом современных технологий», — рассказал руководитель Троицкого обособленного подразделения ФИАН, вице-президент Международной комиссии по оптике Андрей Наумов Наумов.
Среди компонентов электроники, которые российские ученые уже получают с помощью установки, — элементы спектрометров и компоненты, применяемые при изготовлении дифракционных оптических элементов и фазовых решеток для систем машинного зрения и микроскопии.
Метод электронно-лучевой литографии предполагает использование пучка электронов для структурирования поверхности специального полимерного материала (резиста). Этот подход позволяет, в частности, производить уникальные наноструктуры (с технологическим стандартом до 200 нм и менее) для научных исследований и реального сектора экономики.
Источник:
https://t.me/vremyavperedrus/6116